海归博士的中国“芯” 光刻材料的“弄潮人”

 

作为集成电路产业核心光刻技术的源头产品，光刻胶单体系列产品一直被国外企业垄断，如今这项技术壁垒已经不复存在。打破这一局面的是位于邳州经济开发区的徐州博康信息化学品有限公司。公司目前拥有十六项发明专利，三十多项发明正在申请专利，主打产品为大规模集成电路关键材料，主要应用于电子、航天、航海、军事等领域。该公司的技术总监、海归博士—潘新刚，带领公司的研发团队一直致力于光刻材料的研发、生产，并取得了骄人成绩。

一、创新，填补国内光刻行业多项空白

20年前，一个手持半导体收音机大概需要手掌大小的集成电路板，现如今，一个指甲盖大小的集成电路材料上，可以容纳上亿个具备这样功能的集成电路，如何在极微小的材料上做出更密集，更完备的集成电路，近年来，潘新刚和他的技术团队，一直致力于集成电路光刻胶单体材料的研发制造。

潘新刚籍贯湖北，在国外留学期间主攻有机化学。我国集成电路年进口达3000亿美金，连续10年超过石油成为第一大进口商品。但国外大量的技术和产品对中国封锁，光刻材料禁售尤为严重。而这一块正是作为整个集成电路木桶效应的短板，整个集成电路领域最落后于国外的就是这一个，相当于比国外落后10到20年。潘新刚博士也就是看到了这一点，毅然决定放弃在国外的优厚条件，带着所学的技术回到国内。潘新刚认真地说：“我们中国人的骨子里或许都有一种英雄情结，希望可以通过自己的努力让国家变得更加强大。” 回国后很快加入了博康技术团队，三年前，随着博康公司的生产基地从上海向邳州转移，潘新刚也在邳州开始了新一轮的创业梦想。

谈到光刻，他说：“现在激光已经达到一定限度了，到22纳米或者28纳米，这是已经到了极限了，比起现在常用的激光光刻胶技术，电子束光刻胶技术在产品精度方面更有优势，市场前景也更广阔”。潘新刚发现，中国的集成电路从来不缺乏好的设计创意。但因为没有高端的建设技术和建设材料，要制造高精尖的集成电路，基本上都是纸上谈兵。而他恰恰瞄准了这个市场的短板。如何在微世界中做出大文章，他们要做的就是找到适合微世界的那粒“沙子”——光刻材料。潘新刚说：“没有捷径，只能依靠创新，才能缩短与国外的差距”。作为公司技术总监的潘新刚带领公司研发团队，攻克了有效去除光刻胶单体金属离子和产品纯化工艺的难题，使国内光刻胶单体由248nm的研发生产提升到193nm研发、产业化生产阶段，填补了国内空白，博康公司成为国内唯一一家产业化生产中高端光刻胶单体的企业。

二、研发，提升企业技术水平

公司一直注重于科研投入，拥有国内最先进的研发、检测分析设备，建有江苏省高端光刻胶单体工程中心，江苏省企业技术中心、江苏省博士后创新实践基地等；公司与中国科学院微电子研究所等高校院所合作建立联合实验室、校企联盟等开展多层次合作；公司引入光刻领域“千人计划”专家、行业内顶尖技术人才等，组建了该领域最大的研发人才团队；公司自主研发拥有国内该领域最多的自主知识产权，并承担了国家、省多个科技、产业化项目。这一切都为企业的发展提供了好的研发平台和发展机遇，潘新刚带领研发团队完成200多个项目的研发，负责管理从小试到中试、放大生产整个技术路线，根据项目情况协调团队的人员调配对公司重大决策提出专业性意见。全程参与公司的技术、工艺、新产品开发及产业化，公司产品的质量和性能已经达到或超过国外厂商的同类产品，解决了中国光刻技术发展在源头材料方面的瓶颈，部分光刻胶单体和光刻胶材料各项指标已达到全球最好。

潘新刚说：“作为国内唯一一家光刻胶制造企业，该公司所掌握的光刻胶核心技术中金属离子含量已达到10亿分之一以下，仅凭此一项，该公司已站到了光刻技术的世界前沿”。

三、发展，争做世界光刻后起之秀

潘新刚介绍说，博康将和中科院相关的几个研究所共同在邳州建立一个研发基地，光刻材料这方面的人才，都会聚集在一起，发挥各自的优势，集中力量进行一些专业课题的攻关。正是这种对创新孜孜以求的精神，以及对人才的引进和培养，让博康成为中国唯一一家高端光刻材料生产企业，成就了他们技术上的龙头老大地位。目前，企业已经做到了国际最先进的水平，包括国际上的知名的电子企业都在用他们的相关产品。

在做好光刻胶单体的同时，潘新刚博士又在和博康的研发团队一起往下游产品—光刻胶延伸。博康是国际上最先进的EUV光刻胶单体的发明者和生产者，与Intel、JSR等公司合作多年；开发应用于军事、航天领域的电子束光刻胶，目前已向中国相关单位规模供货。目前国际上的光刻巨头也纷纷找博康合作，博康不断拓展海外业务，逐步推进企业国际化战略。

在邳州，一条从金钢烷到光刻胶单体再到光刻胶，最终形成晶圆光刻、集成电路、LED、光电子器件、封装材料等高新技术新产品的完整产业链正呼之欲出。